詳細(xì)信息
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：HG/T 4509—2013。
工業(yè)高純氫氟酸按用途分為四個(gè)等級(jí)。
EL級(jí)：主要用于太陽(yáng)能光伏電池及液晶顯示器件的制造，以及作為生產(chǎn)其 他高純氟化物的原料；
UP級(jí)：主要用于線寬為0.8-1.2μm集成電路的清洗與蝕刻；
UP-S級(jí)：主要用于線寬為0.2～0.6μm集成電路的清洗與蝕刻；
UP-SS級(jí)：主要用于線寬為0.09～0.2μm集成電路的清洗與蝕刻。
- 包裝：槽車、噸桶、塑料桶
- 產(chǎn)品規(guī)格：EL UP UP-S UP-SS UP-SSS
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